金刚线切割技术调研报告-wenkub
2022-11-01 10:06:24 本页面
【正文】 加工时间 准备时间 加工次数 （ 时间 ） 8 次 /天（ 3h） 次 /天 () 费用 碳化硅 （日元 ／片 ） 钢线 （日元 ／片 ） 悬浮液 （日元 ／片 ） 得益 Fine wire Easy Not easy 薄片加工 简单 难 硅片破损 小于砂浆切割 大于金刚线切割 稳定性 刀口损耗 小 (10μ m↓） 大（ 10μ m↑） 残渣 Si 残渣 有价值 需要付费回收 DW288 瑞士 MB 公司最新推出 DW288 金刚石多线切机，见图 7，其性能十分优越，目前正处于调试阶段，值得认真考察研究。电镀金刚线切割以部分小深孔损伤为 主，砂浆切割则是在整个硅片便面凹凸不平的损伤，金刚线切割的损伤更严重。 金刚线切割的缺点 金刚线切片技术的推广，目前面临两大问题：一是金刚线制作成本太高，目前大约是每公里 200 美元，比大约 美元的标准浆液锯线要贵很多倍；二是目前金刚 线切割更容易地用于单晶硅片的切割，切割杂质、位错密度较多的多晶硅块，断线的风险会增大，而光伏应用中，多晶硅片占主导地位。 金刚线切割后硅片与传统硅片比较 3 图 2： 金刚线切割单晶 8 寸硅片 图 3： 金刚线切割多晶 8 寸硅片 与传统硅片相比，金刚线切割出来的硅片有以下特性： 硅片表面布满锯痕，如图 2 与 3 所示； 硅片的破裂强度降为浆液切割硅片的一半，浆料切割硅片能够承受 150Mpa 的应力，而金刚线切割硅片只能承受 90Mpa； 硅片微裂纹 密度比浆液切割硅片低很多。对于传统金属线切片，切割速度为 ，加工一块 156*156 的多晶硅块的切割时间为 小时，每天一台切割机能切 6500 片 156*156 的硅片；而金刚线切片，切割速度提高到 1mm/min，加工一块 156*156 的多晶硅块的切割时间为 小时，一台切割机每天的产能提高到 13800 片。因此需要根据导轮间距、主辊槽距等因素设 2 计和改善线切割机钢线排线系统。 对切片设备改造主要有以下几个方面的难点。日本其他公司也有金刚线切割机产品。 2 技术路线与优缺点 设备的引进或改造 设备的引进 基于金刚线本身性能与普通钢线的差异，金刚线切割对切片机的设备提出了更高的要求。金刚线切割具有切割速度快，切割精度高，材料损耗低等特点。砂浆切割技术是利用切割刃料碳化硅与切割液混合的砂浆喷落在切割钢丝组成的线网上，通过高速运动使砂浆中的碳化硅压嵌入紧压在线网上的硅棒即硅锭表面，形成三体磨
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