金刚线切割技术调研报告(已改无错字)
2022-12-03 10:06:24 本页面
【正文】 工件尺寸 125*125， 156*156 mm 晶片厚度 100 um 工件架 620/2*310 mm 金刚线直径 100 um 线速 25 m/S 切割液型号 水（可选乙二醇） 导轮直径 270 Mm 台面面积包操作范 围 m2 闭路循环系统 图 8：闭路过滤系统 金刚线切割使用闭路循环过滤系统，使用水作为切割冷却液，使切割硅损回收成为一种可能。与没有过滤的金刚线切割工艺比较，成本至少降低六成半。 8 4 金刚线切割主要辅料 金刚线 金刚石锯线是一种固态研磨工具，金刚石颗粒用电镀或者环氧基方式粘接在基线上，见图 9。 金刚石锯线分为电镀金刚石锯线和树脂结合剂锯线。 树脂结合剂金刚石锯线是一种采用树脂作为结合剂 ,将金刚石磨粒固结于锯丝基体表面而形成的固结磨料锯线。树脂结合剂锯线制造方法与树脂结合剂砂轮的制造类 似 ,直接将含有金刚石磨料的树脂混合物涂敷在金属丝表面 ,经过干燥后再固化。相比电镀金刚石锯线 ,树脂涂层的剪切模量较低 ,锯丝的扭切强度基本不变 ,更重要的是树脂结合剂金刚石锯丝制作工艺简单 ,生产成本低 ,生产效率高。树脂结合剂金刚石锯线的制造工艺分为四个主要过程 : （ 1） 金刚石磨料与树脂配料 ；（ 2） 基体表面预处理 ；（ 3） 配料涂覆 ；（ 4） 固化 [1]。 树脂结合剂锯线的耐磨性和耐热性不如电镀金刚石锯线好。 电镀金刚石锯线是将高硬度、高耐磨性的金刚石磨粒通过电镀的方式牢固地把持在钢丝基体上而制成的一种切割工具。电镀金刚石锯 线具有切割效率高、锯切力小、锯缝整齐、切面光整、出材率高、噪音低，对环境污染小等优点 [2]。 图 9： 金刚石锯线横向显微结构 金刚线切割主要使用电镀金刚线，电镀金刚线由结构芯线、镀层、金刚石颗粒组成，其中芯线主要是切割钢丝，镀层主要是耐磨金属与树脂线的结合，如图 10 为 Bekaert 电镀金刚线截面示意图。 9 图 10： Bekaert 电镀金刚石锯线截面示意图 Bekaert 有多种规格型号的电镀金刚线，具体见表 4。其中 MD100 的外径已经达到普通切割钢丝的的外径为 120177。 3 微米，但是金刚线根本无法变得 更薄，主要受到芯线限制，芯线决定张力大小与金刚石难于镀细薄的锯线上 [4]。金刚线切片现在主要是处于试用阶段。 表 4： Bekaert 各种电镀金刚线规格型号参数 项目 MD100 MD175 MD250 单位 芯线直径 100177。 1 175177。 1 250177。
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